請教各位關(guān)于近場分辨力和遠(yuǎn)場分辨力的問題。

過年了。小弟在此祝福大家新春快樂。。同時也請教個關(guān)于近場分辨力和遠(yuǎn)場分辨力的問題。。他們到底各自是指的什么含義？？？適用什么樣的范圍？？還有教材中所教的關(guān)于儀器探頭組合所測定的分辨力。具體屬于他倆當(dāng)中的那種？？

教材中測試的是橫向遠(yuǎn)場分辨力，橫向分辨力測試聲束寬度范圍內(nèi)分辨相鄰缺陷的能力，能分辨間距越近的缺陷，分辨力越好，近場聲束寬度基本同晶片大小，遠(yuǎn)場聲束寬度為擴散聲束，越遠(yuǎn)擴散越大，分辨力越差，教材中給出的是標(biāo)準(zhǔn)的測試方法，其實個人覺得，分辨力應(yīng)表述為某一深度的分辨力更準(zhǔn)確，可能有不當(dāng)之處，望指正

假面 發(fā)表于 2015-2-16 09:15
教材中測試的是橫向遠(yuǎn)場分辨力，橫向分辨力測試聲束寬度范圍內(nèi)分辨相鄰缺陷的能力，能分辨間距越近的缺陷， ...

學(xué)習(xí)了。感謝指導(dǎo)。